大家熟悉的金刚石,也就是钻石的原石,是一种半导体单晶。半导体单晶还包括近年来关注的芯片材料单晶硅,除此之外还有单晶锗和多种III-V族化合物半导体等。半导体单晶广泛应用于核辐射探测中。
为什么是半导体?
半导体大家都有所了解,从半导体收音机开始有很多应用,现在已成为重要的战略物资之一。但是你是否知道,直到上世纪三十年代人们还没有认识到半导体的重要性,整块的锗晶体被贴上“不良导电金属”的标签沉睡在实验室里十几年。
图1 1947年贝尔实验室研制的第一个晶体管。图片来自E. E. Haller, Germanium: From its discovery to SiGe devices, Materials science in semiconductor processing 9 (2006) 408-422
后来人们才发现半导体有光敏性、热敏性、掺杂性等独特的性能(即半导体对光、热、杂质含量都有灵敏的反应),利用这些特性可以开发多种应用。大家看看图片中1947年贝尔实验室研制的第一个晶体管,就知道最近这几十年来的大跨度发展。目前半导体材料已成为芯片产业链上游的核心,国家正在这一领域奋力前行。
为什么是单晶?
再说说更为有趣的单晶。大家对冰糖都很熟悉,冰糖有单晶冰糖和多晶冰糖。自然结晶时总是先出现多个小块单晶,随着单晶慢慢长大,每个单晶连在一起就形成了多晶,所以多晶冰糖的产量远远大于单晶冰糖。
图2 多晶冰糖(左)和单晶冰糖(右)
同样的,半导体晶体也分单晶和多晶。自然结晶的大部分是多晶,在多晶中有小块的单晶存在,如图中画圈的部分是单晶。
图3 多晶锗,图中画圈的部分是单晶。
由于多晶由大量不同取向小体积单晶组成,核辐射探测器一般需要的大体积单晶,只能通过特殊的方法来生长。
怎样生长大体积单晶?
生长大体积单晶有很多种方法,其中一种是硅和锗通用的籽晶提拉法。籽晶,又叫晶种,由高质量单晶制备,像种子一样插入熔体中,通过控制温场、拉速等可以生长出和籽晶性质相同的大体积单晶。
图4 深圳大学高纯锗单晶生长,图中籽晶的制备方法已授权国家发明专利(一种探测器级高纯锗单晶籽晶及其制备方法和应用,ZL 2021 1 0463466.5)。
这个方法对籽晶的品质有非常高的要求,如果种子达不到要求只能长出“歪瓜裂枣”。第一代籽晶采用手工磨制的方法,籽晶同轴性差导致生长的晶体质量达不到要求。
为了解决这个问题,我校高纯锗团队郝昕副教授研发了籽晶精密机械加工的方法,该方法在解决籽晶同轴性的同时,确保了准确的晶向并大幅度提高制备效率和成品率。用这种方法制备了一批籽晶,由籽晶生长的高纯锗单晶多项指标达到探测器制备要求。